双碳目标推动中国新能源飞速发展，太阳能光伏发电越来越贴近我们的日常生活，半导体行业对于真空泵控制的需求也日益增长。

在光伏电池（单晶硅和多晶硅等半导体材料）的制备过程中，罗茨真空泵组能够为生产环境提供稳定的真空度，从而保证产品的质量和生产的稳定性。

控制难点

1、现场环境恶劣，温度高达70℃，硅粉、碳粉等超细颗粒粉尘（直径＜1微米，比水泥颗粒小100倍）干扰破坏；

2、因启动、加速响应慢，抽速不够稳定导致运行效率不高；

3、开放大气时易发生过载、过流故障而停机

4、雷雨季节或供电环境恶劣时，易因瞬时停电或电压暂降而停机，造成半导体生产损失

海浦蒙特HD3N-PR半导体真空泵专用高防护型变频器

海浦蒙特变频器，在应用于罗茨真空泵组的进程中，内外兼修，适应市场，生产制造出了适应新能源单晶硅多晶硅制备的专业产品。

外功：IP5X高防护等级结构上：独立风道、电缆防水接头、高防护等级散热风扇有效避免生产现场硅粉、碳粉等导电粉尘侵入，绝缘变差而导致的损坏

设计上：更高温升裕量设计，确保设备长期24小时连续运转时可靠散热,延长设备寿命

工艺上：PCBA UV涂层，散热器缝隙注胶密封，防堵结合，双重保护，确保万无一失

内功：优秀的软件算法 精细的限流作用：区分加减速过程与恒速过程，与前级螺杆泵同时启动，最大限度减小抽真空时间，保产增效可靠的过流抑制：确保加载、爆气过程稳定运行，不报故障，避免因故障导致真空度波动，影响产品质量。

应用现场

海浦蒙特HD3N-PR半导体真空泵专用高防护型变频器，内外兼修，在国内外广泛应用，为不同半导体工艺下真空泵的稳定、高效运行保驾护航。